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LFSC-D PFA マイクロエレクトロニクス洗浄プロセス向けPFA超音波式クランプオン流量計

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LEVIFLOW®</supクランプオン式流量計LFSC-Dは、マイクロエレクトロニクス洗浄プロセス向けに液に影響を与えずに正確に流量測定できる流量計です。2つの圧電素子が超音波を発生させ受信する構造になっており、液が流れている場合では流れ方向の超音波は加速され、液の流れと逆方向では超音波は減速されます。この超音波の伝達時間の差は液の流速に比例します。このクランプオン式流量計は液に対して影響を及ぼさず、簡単に設置でき高温の液体の測定も可能です。
レビトロニクス クランプオン流量計は、1もしくは6センサーマルチチャンネルのコンバーターやターンキーソリューションのコンソールと互換性があります。
超純水から危険な薬液の低流量から高流量の送液において、LEVIFLOW®クランプオン流量計はお客様の生産性の向上に貢献します。

Levitronix® – better sensors for better yield!

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