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LFS 超声波高精度流量测量用于微电子湿式工艺应用

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LEVIFLOW® 在线流量传感器被设计专为超洁净液体使用的高精度流量测量。 两个压电传感器产生并接收超声波。两个压电传感器产生并接收超声波。当有流量时,顺向流时加速,逆流波时减慢。传输的时间的差异与流体的速度成正比。测量是完全非侵入性的,因此非常适合超洁净液体。液体完全封装在高性能塑料树脂中,传感器对最苛刻的化学物质也具有极强的抗腐蚀性。此外,选定的传感器可用于高温应用。LEVIFLOW®在线流量传感器可与单通道转换器或最多可连接 6 个传感器的多通道转换器兼容。
从低流量到高流量,处理超纯水到侵略性化学品,LEVIFLOW®在线流量传感器将有助于提高您的产量!

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