Levitronix® BPS流量控制器专门设计用于对微电子制程应用中的特定流体进行超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场驱动并悬浮起来。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触，因此，不存在磨损。不会发生轴承磨损或密封件损坏，叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯含氟聚合物树脂制成。通过电子调节叶轮转速，精确控制流体流量和压力。
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无需节流阀控制流量——高精确的流量和压力
由于其可调的速率和高分辨率，Levitronix®泵可以在广泛的运行范围内精确控制流量或压力。
极高的可靠性
由于不会发生轴承磨损或密封件故障，设备正常运行时间增加，您的工艺设备的寿命得以延长，维护成本降低。
从每分钟几毫升到最大流量
BPS-iF系统可以精确控制和保持平稳的流量——从每分钟几毫升到最大流量——使其在竞争对手泵或基于阀的流量控制器中具有最高的调节比。
显着小于气动泵的安装空间
泵和电机采用高集成设计，加上没有机械轴承，大大减少了安装空间，可被安装在有限的空间内。
用于智能制造的智能泵
BPS-iF系统支持高性能数据采集，是进行预测性维护和在全工厂范围内进行系统集成的理想选择。
噪音大大低于气动泵
叶轮和泵壳的磁力耦合器实质上不会产生振动，因此运行非常安静。
超过25年行业经验
Levitronix®泵在其他要求苛刻的行业（如生物制药）被广泛地认可。
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微电子 
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过程控制单元 
应用手册: BPS Overview 