Levitronix® BFS

耐化学腐蚀
磁悬浮风扇

 

Levitronix® 无轴承风扇系统(BFS)专门设计用于要求苛刻的微电子制造行业。基于主动磁悬浮,风扇叶轮受电机磁场驱动并悬浮起。叶轮和定子之间的宽大间隙确保没有磨损,因此实质上不会产生碎屑颗粒,使其成为最洁净的风扇。由于叶轮和定子完全密封,所以这款风扇对腐蚀性介质具有极高的抵抗能力,并可在爆炸性气体环境中使用。

Levitronix® BFS风扇在微电子应用中具有独特的优势,将为您提高产品质量及产量。
thumbnail-video-bfs-fan-system BFS Fan System
益处

半导体制造业中最洁净的风扇!
由于叶轮和风扇头外壳之间没有机械接触,不存在磨损,因此实质上无碎屑颗粒产生。

最洁净的风扇

抗腐蚀性气体
由于叶轮和定子被完全密封,因此这款风扇对腐蚀性介质具有极高的抵抗力。

耐化学腐蚀

ATEX/ IECEx防爆认证
BFS通过了ATEX / IECEx防爆认证,对于易爆气体可以安装在ATEX Zone 1区域内,对于易爆粉尘可以安装在ATEX Zone 21区域内。

适用于爆炸性气体环境

高达37 m3/min
悬浮叶轮的转速可高达13000 rpm,使BFS实现极高的流量。

高流量

减少碎屑颗粒堆积
没有机械轴承,因此风扇故障的风险大大降低。

极低的维护成本

显着减少占地面积和布线工作
电机和泵控制器被集成到驱动器外壳中,大大减少了占地面积。

集成电路

从每分钟几立方厘米到最大流量
BFS可精确控制和保持流量——从每分钟几立方厘米到最大流量——使它们具有非常高的流量解析率。

宽广流量范围

增加设备正常运行时间
没有轴承磨损或密封件故障,增加设备的正常运行时间,延长工艺设备的寿命,降低维护成本。

极长寿命

支持创建反馈回路
将流量或压力传感器集成到您的系统中来创建一个反馈回路,使您能够自动保持所需的工艺条件。

集成流量或压力控制器

高功率密度
BFS的高功率密度使安装空间变小成为可能。此外,磁悬浮轴承最大限度地减少了噪音产生。

安装空间小、振动低

流量压力曲线
流量压力曲线
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