Levitronix® 高温泵
微电子湿制程应用
水冷无轴承泵

Levitronix® 高温泵专门设计用于在微电子湿制程应用中对精细流体进行超杰竟处理。集成的水冷循环确保泵送高温化学品时,电机内部温度保持较低水平。
基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运动部件之间没有机械接触,因此,不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。叶轮和外壳均由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。

Levitronix® 高温泵在微电子湿制程应用中具有独特的优势,将为您提高产品产量。
BPS High Temperature
益处

最洁净的泵

经行业经验验证 - 半导体制造(及其他领域)中最纯净的泵!

由于叶轮和泵头壳体之间没有机械耦合装置,不存在磨损,因此实质上不会有颗粒产生。

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使用大型泵于流率5gpm压力40 psig在后段量测到的粒径分布

极低的微量金属污染

显着低于气动泵

Levitronix® 泵的接液表面面积要比同等输液功率的气动泵小好几倍。

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3种 Levitronix 磁悬浮泵 与2种隔膜式泵之微量金属萃取的比较

低剪切力设计

非常适用于研磨液和精密电镀液

光滑湿润的塑性材料表面加上无机械轴承、窄缝、裂纹和死区,因此可以对敏感液体进行温和处理。

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泵对于颗粒 ≥ 0.56 微米 (线性标)产生的效应

无脉冲流量

为您的提供准确、稳定和可靠的流量和压力过程

开放式泵头设计、高流量解析率、离心泵原理、以及无阀门设计实现了完全无脉动流量,从而提高了超纯过滤器的性能。

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截留率为压力脉动的函数

高达220°C的液体温度
集成的水冷循环确保泵送高温化学品时,电机内部温度保持较低的水平。

非常适用于高温化学品

无需流量限制——高精确的流量和压力
由于其可调的速率和高分辨率,Levitronix® 泵可以在宽广的运行范围内对流量和压力进行精确控制。

高可控性和宽广流量范围

极高的可靠性
由于不会发生轴承磨损或密封件损坏,设备的正常运行时间增加,您的工艺设备的寿命得以延长,维护成本降低。

最高平均故障间隔时间(>100年)

从每分钟几毫升到最大流量
泵可以精确控制和保持平稳的流量,  从每分钟几毫升到最大流量,  使它在众多竞品泵中拥有最高的调节比。

极高的调节比

显着小于气动泵的占地面积
泵和电机采用高集成设计,加上没有机械轴承,大大减少了占地面积,可被安装在有限的空间内。

安装空间小

用于智能制造的智能泵
Levitronix®泵支持高性能的数据采集,是进行预测性维护和在全工厂范围内进行系统集成的理想选择。

持续的数据采集和数据监控

噪音远低于气动泵
由于叶轮和泵壳之间没有机械耦合,泵几乎不产生振动,因此泵系统运行非常安静。

低噪音、低振动

支持创建反馈回路
将流量或压力传感器集成到泵系统中来创建一个反馈回路,使您能够自动保持所需的工艺条件。

集成流量控制器

超过25年行业经验
Levitronix® 泵在其他要求苛刻的行业如生物制药生产受到广泛认可。

历史悠久

流量压力曲线
流量压力曲线
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