LFS-20 微电子湿制程应用的超声波高精度流量测量

流量范围 0 – 20 l/min
准确性 ±1% of reading
管径（外径） ½”
湿料 PFA
流体温度 10-90°C / 50-194°F

LEVIFLOW® LFS-20直通式传感器专门用于高纯度液体的非侵入性高精度流量测量而设计。透过两个压电换能器产生和接收超声波。当流量存在时，顺流波加快，逆流波减慢。传播时间的差异与流体的速度成正比。所有原材料是由PFA制成，可抵抗强腐蚀性化学物质。

系统优势

非侵入式测量
由于没有运动部件，不存在磨损，因此实质上没有碎屑颗粒产生。

非常适合超纯流体

读数的高精度和可重复性
4.7 – 20 lpm: ±1 % acc. and ±0.5 % rep.
0 – 4.7 lpm: ±0.047 lpm acc. and < 0.024 lpm rep.

高精度流量测量

适用于大容量应用
对于大容量应用，可选用多通道转换器，单个转换器可以处理多达6个传感器信号。传感器信号可通过RS485两线制总线或PLC接口获取，从而减少布线、占用空间和成本。

可连接多个传感器的6通道转换器

支持高达180°C/ 356°F液体温度
高温版本加强了隔热，允许对热液体进行精确的流量测量。

可选用高温传感器

智能数字信号处理
该流量转换器包含数字信号处理器（DSP），即使存在气泡，它也能提供精确的流量测量。

更强的抗气泡稳定性

智能传感器
提供了各种参数，如满量程、总体积、气泡检测、或高流量报警，并且这些参数都可用Levitronix®服务软件进行配置。

可配置的流量传感器参数

下载
技术手册
你需要更多的信息吗？
保持联系