BPS-2000 ST 微电子湿製程应用超洁净无轴承泵

最大流量 80 lpm / 21 gpm
最大压差 6.2 bar / 90 psi
最高液体温度 90° C / 194° F
湿料 Stainless Steel

The Levitronix® BPS-2000 不锈钢设计用于微电子湿应用中精细流体的超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运动部件之间没有机械接触,因此,不存在磨损,不会产生轴承磨损或密封件损坏,叶轮和外壳均由导电不锈钢制成,可用于溶剂应用。通过电子调节叶轮速度来精确控制流体流速和压力。

流量压力曲线
流量压力曲线
系统优势

行业经验证明 – 半导体制造(及其他领域)中最纯净的泵!
由于叶轮和泵头外壳之间没有机械耦合,因此没有磨损,因此几乎不会产生颗粒。

极低的颗粒脱落

显著低于气动泵
Levitronix®泵的湿表面面积要比同等输液功率的气动泵小好几倍。

极低的微量金属污染

极高的可靠性
由于不会发生轴承磨损或密封件损坏,设备的正常运行时间增加,您的工艺设备的寿命得以延长,维护成本降低。

最高平均故障间隔时间(>100年)

改进的过滤器性能
开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵原理和无阀门导致完全无无脉冲流量。从而提高超纯过滤器的性能。

无脉沖流量

体积显着小于气动泵
泵和电机采用高集成设计,加上没有机械轴承,大大减少了安装空间,可被安装在有限的空间内。

安装空間小

非常适用于研磨液和精密电镀液
非常适用于研磨液和精密电镀液光滑湿润的塑性材料表面加上无机械轴承、窄缝、裂纹和死区,因此可以对敏感液体进行温和处理。

低剪切力设计

无需节流阀—高精度的流量和压力
由于其可调的速率和高分辨率,Levitronix®泵可以在广泛的运行范围内精确控制流量或压力。

高可控性及宽广流量范围

宽广流量范围—从超低流量到最大流量
Levitronix®泵的高速和分辨率允许控制和维持从每分钟几毫升到最大流速的流速。

极高的调节比

支持创建反馈回路
将流量或压力传感器集成到泵系统中来创建一个反馈回路,使之能够自动保持您设定的工艺条件。

集成流量控制器

超过25年行业经验
Levitronix® 泵在半导体制造或生物制药生产等高要求行业中得到了广泛应用。

历史悠久

用于智能制造的智能泵
Levitronix®泵支持高性能的数据采集,是进行预测性维护和在全工厂范围内进行系统集成的理想选择。

持续的数据采集和数据监控

噪音大大低于气动泵
由于叶轮和泵壳没有机械耦合,泵几乎不产生振动,从而使泵系统运行非常安静。

低噪音、低振动

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