事实
与 Levitronix® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致slurry聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕，进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。
测试条件
评估了 Levitronix® 评估了Levitronix®BPS-4泵、隔膜泵和波纹管泵对Cabot® WIN W7300-A18 slurry健康的影响。11L 的slurry在30lpm和2.1bar持续循环。样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布，并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较。
结果
无论颗粒大小如何， Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到颗粒浓度显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。
颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性
颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性
颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性
生物工艺 
微电子 
泵 
流量控制器 
流量传感器 
混合器 
风扇 
增压系统 
过程控制单元 
