事实
因为不连续的流体输送, 产生的压力和流速度的液压冲击. 穿透微孔膜过滤器的液压冲击会增加从过滤器释放的颗粒, 从而导致晶圆缺陷。
测试条件
比较了隔膜、波纹管泵和 Levitronix® 泵的流量脉冲对于过滤器过滤率和颗粒保留率, 并使用了三种不同的过滤器. 最后Log Reduction Value (LRV)呈现各个过器在125奈米的过滤率。
结果
压力脉冲对过滤器的过滤率保留有负面影响，无论哪种过滤器的使用, Levitronix® 泵提供最稳定的流量，在测试的每一个流速中都表现出最高的过滤效果。
截留率为压力脉动的函数
生物工艺 
微电子 
泵 
流量控制器 
流量传感器 
混合器 
风扇 
增压系统 
过程控制单元 
