事实
在之前的测试中，CMPs lurry大粒径颗粒的浓度往往在波纹管泵和隔膜泵中增加，而Levitronix®泵则没有观察到增加。
大粒径颗粒可导致过滤器堵塞，从而缩短过滤器寿命。
测试条件
评估了Levitronix®BPS-4泵、隔膜泵和波纹管泵对过滤器寿命的影响。每个泵用于循环约 28.5 L Cabot Semi-Sperse® 12 slurry的流率约为 29.5 lpm （7.8 gpm）。每个泵的下游安装了 10″ Mykrolis Planargard® CMP3过滤器。监测和比较了通过滤器的后的压力下降，表示过滤器寿命的相关性。测试一直持续到过滤器的压力下降至少10 psig 或超过 10，000 循环次数。
结果
波纹管泵和隔膜泵测得的压力下降比Levitronix®泵的压力下降大约高15倍和5倍。Levitronix®泵是唯一达到 10，000 次周转的泵，但没有压力下降到 10 psig。
于三种泵测试中每一个滤心的压力增加值 ∆P
生物工艺 
微电子 
泵 
流量控制器 
流量传感器 
混合器 
风扇 
增压系统 
过程控制单元 
